2021年10月23日，第356期“東方科技論壇”在中國(guó)科學(xué)院上海分院舉辦。東方科技論壇是上海市人民政府、中國(guó)科學(xué)院和中國(guó)工程院共同發(fā)起和主辦，是以中青年為主體的面向全國(guó)的具有前瞻性、連續(xù)性的科學(xué)技術(shù)研討性質(zhì)會(huì)議。本屆論壇共有來(lái)自中科院上海分院、中科院科研院所、高等院校、化工及半導(dǎo)體企業(yè)等14家單位的60余位嘉賓和研討專家參加。
本次論壇主題為“集成電路關(guān)鍵材料的現(xiàn)狀及解決方案”。會(huì)議執(zhí)行主席由中科院上海有機(jī)化學(xué)研究所沈其龍研究員、中科院上海微系統(tǒng)與信息技術(shù)研究所俞文杰研究員、中科院上海硅酸鹽研究所劉學(xué)建研究員擔(dān)任。沈其龍研究員主持開幕式，并介紹了本次論壇背景及與會(huì)特邀嘉賓；中科院上海分院學(xué)術(shù)與科普處章文峻處長(zhǎng)介紹了東方科技論壇舉辦情況；中科院上海分院院長(zhǎng)胡金波研究員致歡迎辭，對(duì)參加論壇的嘉賓、代表表示熱烈歡迎，并期望本次論壇能緊緊圍繞集成電路中的關(guān)鍵材料的研發(fā)中的挑戰(zhàn)與難點(diǎn)，集思廣益，攻堅(jiān)克難，為保障國(guó)家安全和國(guó)民經(jīng)濟(jì)發(fā)展貢獻(xiàn)力量。
近年來(lái)，隨著中美“科技戰(zhàn)”爆發(fā)， 集成電路產(chǎn)業(yè)也成為雙方博弈的焦點(diǎn)?！耙淮牧稀⒁淮に?、一代產(chǎn)品”，集成電路產(chǎn)業(yè)中材料的水平?jīng)Q定了芯片的制程，進(jìn)而決定了芯片的數(shù)據(jù)處理能力，深刻影響了我國(guó)民生、軍事、航天等各個(gè)領(lǐng)域的不同層面。集成電路產(chǎn)業(yè)是上海市重點(diǎn)發(fā)展的三大戰(zhàn)略性先導(dǎo)產(chǎn)業(yè)之一，上海市也已經(jīng)作出了將集成電路產(chǎn)業(yè)作為上海市建設(shè)具有全球影響力科學(xué)創(chuàng)新中心的重要抓手之一的戰(zhàn)略決策。因此，集成電路產(chǎn)業(yè)鏈的每一個(gè)“產(chǎn)”“學(xué)”“研”環(huán)節(jié)正面臨著新一輪的歷史性發(fā)展機(jī)遇。
在大會(huì)報(bào)告環(huán)節(jié)，復(fù)旦大學(xué)鄧海教授作開場(chǎng)報(bào)告，介紹了關(guān)于ArF光刻膠以及高速圖形化材料的研發(fā)成果。隨后，中科院上海有機(jī)所的沈其龍研究員介紹了ArF光刻膠的關(guān)鍵材料以及相關(guān)技術(shù)，中科院上海有機(jī)所的吳永明研究員介紹了氟化工產(chǎn)品在集成電路產(chǎn)業(yè)中的應(yīng)用；上海華力微電子有限公司的曹永峰總監(jiān)、中科院上海微系統(tǒng)所的李衛(wèi)民研究員和宋三年研究員圍繞晶圓制造中的關(guān)鍵材料研發(fā)進(jìn)行了學(xué)術(shù)報(bào)告；上海微電子公司的朱岳彬經(jīng)理和中科院上海硅酸鹽所的劉學(xué)建研究員和姜大朋副研究員圍繞光刻機(jī)核心材料的研制進(jìn)行了學(xué)術(shù)報(bào)告和探討。
參會(huì)專家們共同就如何解決集成電路關(guān)鍵材料的研發(fā)進(jìn)行了學(xué)術(shù)分享和熱烈討論，為實(shí)現(xiàn)我國(guó)徹底解決集成電路關(guān)鍵材料“卡脖子”問(wèn)題和關(guān)鍵核心技術(shù)實(shí)現(xiàn)自強(qiáng)自立獻(xiàn)計(jì)獻(xiàn)策。圍繞集成電路關(guān)鍵材料的研發(fā)中遇到的問(wèn)題：如何實(shí)現(xiàn)產(chǎn)、學(xué)、研更緊密的結(jié)合，關(guān)鍵材料研發(fā)中所使用的關(guān)鍵器具對(duì)于進(jìn)口的依賴以及國(guó)內(nèi)對(duì)于關(guān)鍵原材料的供應(yīng)以及質(zhì)量保證，專家們進(jìn)行了深入的交流和討論。最后，沈其龍研究員作了總結(jié)發(fā)言，并向參會(huì)代表以及論壇工作人員表示由衷感謝，
通過(guò)舉辦這次論壇，為集成電路產(chǎn)業(yè)鏈探討合作共贏提供一個(gè)良好的平臺(tái)，讓 “產(chǎn)”“學(xué)”“研”各環(huán)節(jié)中學(xué)術(shù)界以及產(chǎn)業(yè)界的專家進(jìn)一步了解集成電路產(chǎn)業(yè)鏈中材料的相關(guān)問(wèn)題，探索研究機(jī)構(gòu)通過(guò)科技創(chuàng)新提供相應(yīng)的解決方案并轉(zhuǎn)化為生產(chǎn)力的有效途徑，將對(duì)上海市的集成電路產(chǎn)業(yè)崛起產(chǎn)生積極的推動(dòng)作用。
胡金波致辭
沈其龍主持開幕式
參會(huì)專家代表合影
