中國科學院上海有機化學研究所四源高真空磁控濺射及無機材料蒸發(fā)鍍膜設(shè)備采購公告
根據(jù)《中國科學院上海有機化學研究所物資采購管理辦法》等相關(guān)規(guī)定，就 四源高真空磁控濺射及無機材料蒸發(fā)鍍膜設(shè)備 項目采購組織競爭性磋商，歡迎合格的供應商前來參與。
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采購項目編號：SIOC-JZ-20251126
采購項目名稱：四源高真空磁控濺射及無機材料蒸發(fā)鍍膜設(shè)備
采購方式：競爭性磋商
采購內(nèi)容：四源高真空磁控濺射及無機材料蒸發(fā)鍍膜設(shè)備（1套）
采購要求：(采購項目技術(shù)規(guī)格、參數(shù)及要求)
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采購內(nèi)容 |
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四源高真空磁控濺射及無機材料蒸發(fā)鍍膜設(shè)備 |
主要配置： 1.機械組成部分 1.1磁控濺射及無機材料蒸發(fā)鍍膜真空腔室 1.2真空腔體前端鎖緊方門 1.3真空腔體上端蓋法蘭 1.4樣品襯底加熱裝置 1.5樣品旋轉(zhuǎn)，升降裝置 1.6無機材料蒸發(fā)舟 1.7三源磁控射頻濺射靶 1.8手動樣品總擋板 1.9無機蒸發(fā)源，?? 獨立擋板 1.10膜厚探頭4個 1.11真空腔體與單元電源臺架 1.12智能控制循環(huán)水箱 1.13臺架上罩板，臺架側(cè)圍板
2.真空組成部分 2.1高真空復合分子泵 2.2真空前級機械泵3臺 2.3復合真空計 2.4高真空閘板閥 2.5高真空預抽直角閥 2.6質(zhì)量流量計 2.7兩路氣體混合裝置 2.8高真空放氣閥,充氣閥 2.9真空壓差閥 2.10水箱分水站
3.電源組成部分 3.1總控電源 3.2樣品電動旋轉(zhuǎn)、升降電源 3.3照明電源 3.4雙路流量計顯示器 3.5射頻電源2套 3.6直流電源 3.7膜厚控制儀
技術(shù)規(guī)格： 1.磁控濺射室組件 1.1真空室腔體連接蒸發(fā)源、磁控濺射源分子泵、真空規(guī)、觀察窗、石英晶體探頭，樣品臺法蘭接口。腔體采用不銹鋼材料制造，氬弧焊接，表面拋光處理。 1.2真空室上端樣品臺可拆卸。 1.3真空室前手動方型門，方便更換濺射靶材及蒸發(fā)舟材料。 1.4四通路水冷晶振探頭，檢測材料濺射及蒸發(fā)過程的速率、頻率。 1.5膜厚控制儀可以對三個磁控濺射源根據(jù)材料濺射的速率，頻率及功率分別進行控制。 1.6質(zhì)量流量計控制氬氣，氮氣流量。 1.7兩路氣體混合裝置，氬氣、氮氣按需要比例混合。 1.8蒸發(fā)舟可以實現(xiàn)對無機材料電阻蒸發(fā)。 1.9腔體可以充入純凈氮氣，氬氣等。
2.樣品沉積升降轉(zhuǎn)臺機構(gòu) 2.1不銹鋼蒸發(fā)基片托1個，容納樣品最大尺寸：80*80mm。 2.2樣品可電動操作旋轉(zhuǎn)。 2.3樣品可由電機驅(qū)動CF35磁力轉(zhuǎn)軸驅(qū)動，轉(zhuǎn)速連續(xù)可調(diào)0～30轉(zhuǎn)/分鐘。 2.4手動直接轉(zhuǎn)軸驅(qū)動樣品擋板1套。 2.5樣平臺可以根據(jù)操作上下升降調(diào)整距離 0-100mm
3.磁控射頻濺射源?? 3.1每個磁控濺射靶可獨立用電源控制。 3.2適配2英寸可更換靶材。??????????????? 3.3每個靶有獨立電動擋板，防止靶材濺射相互污染。 3.4每個靶角度可調(diào)整。
4.熱蒸發(fā)電極組件及控制電源?? 4.1蒸發(fā)水冷電極2根組成一個蒸發(fā)舟；金屬蒸發(fā)舟（鎢、鉭）各1支。 4.2蒸發(fā)電源最大輸出功率3 Kw 。 4.3電流表調(diào)整電流精度0.01 A。 4.4蒸發(fā)源之間有可拆卸擋板，防止交叉污染。
5.真空系統(tǒng)及真空測量 5.1分子泵??????????????????? 抽速≥600L/S 。 5.2機械泵抽速≥4L/S。 5.3極限真空指標：4.0x 10-5Pa。 5.4實驗真空指標：從大氣抽至3.8x10-4Pa＜40分鐘(氮氣環(huán)境)； 5.5真空室漏率：關(guān)機12小時≤20Pa。
6.真空測量及電控系統(tǒng) 6.1數(shù)顯真空計含電阻規(guī)2只 ，量程1.0x105Pa-1.0x10-1Pa；電離規(guī)1只，量程1.0x10-1Pa-1.0x10-5Pa。 6.2磁控濺射直流電源功率1000W。 6.3磁控射頻電源功率500W一套，1000W一套。 6.4無機蒸發(fā)電源最大輸出功率3 Kw。
付款方式：合同簽訂后預付貨款
質(zhì)保期：安裝驗收后2年
其它要求： 1.按ISO9001質(zhì)量管理體系組織設(shè)計、加工、裝調(diào)、檢驗、包裝、運輸； 2.提供該設(shè)備的技術(shù)使用說明書及外購配件儀器儀表說明書； 3.在甲方現(xiàn)場驗收后，2年內(nèi)免費維修正常使用出現(xiàn)的故障，非正常的故障維修只核收工本費及差旅費，終身維修只核收工本費及差旅費。 4.廠家提供現(xiàn)場培訓。 |
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合同生效后3個月 |
45萬元 （人民幣）
注： 報價超出預算金額，視為無效。 |
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二、申請人的資格要求：
商務要求：企業(yè)營業(yè)執(zhí)照、法人代表授權(quán)委托書及被授權(quán)委托代理人身份證、業(yè)績證明（三年內(nèi)同類型采購合同）等其他相關(guān)證明材料。
特定資格要求：單位負責人為同一人或者存在直接控股、管理關(guān)系的不同供應商，不得參加同一項目下的采購活動。
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三、文件遞交時間、會議時間及地點
文件遞交時間：2025年12月5日09時00分
文件遞交地址：上海市零陵路345號5號樓1樓伯明廳
注意：所有文件請務必全部完整密封，如未密封或有破損將視為無效文件。
會議時間：2025年12月5日09時00分
會議地點：上海市零陵路345號5號樓1樓伯明廳
四、聯(lián)系方式
項目聯(lián)系人：戴樂
聯(lián)系電話：18637109829
郵箱：daile@sioc.ac.cn
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